An integrated thermopile structure with high responsivity using any standard CMOS process

AKIN T. , Olgun Z., Akar O., KÜLAH H.

Sensors and Actuators, A: Physical, cilt.66, ss.218-224, 1998 (SCI İndekslerine Giren Dergi)

  • Cilt numarası: 66
  • Basım Tarihi: 1998
  • Doi Numarası: 10.1016/s0924-4247(98)00038-7
  • Dergi Adı: Sensors and Actuators, A: Physical
  • Sayfa Sayısı: ss.218-224