An electrostatically actuated parylene microvalve for lab on a chip applications

YILDIRIM E., ARIKAN M. A. S., KÜLAH H.

16. International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Micro Systems, 5 - 09 Temmuz 2011, (Tam Metin Bildiri)

• Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
• Doi Numarası: 10.1109/transducers.2011.5969441
• Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet