MEMS Malzeme Karakterizasyonu için Bütünlesik bir Elektrostatik Mikro Bükülme Test Yapısı Tasarımı ve Gerçeklestirilmesi


YILDIRIM E., AKIN T., ARIKAN M. A. S.

Cankaya University Journal of Science and Engineering, cilt.9, ss.9-23, 2012 (Hakemli Dergi)