Radio Frequency Micro Electro Mechanical Systems RF MEMS


AKIN T.

National URSI Symposium Turkey, Antalya, Türkiye, 6 - 08 Eylül 2006, ss.11 identifier identifier identifier

  • Yayın Türü: Bildiri
  • Doi Numarası: 10.3390/s19040864
  • Basıldığı Şehir: Antalya
  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Sayfa Sayıları: ss.11
  • Anahtar Kelimeler: RF-MEMS, switch, capacitor, laterally movable triple electrodes, low voltage, fast response
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet