Mechanism of CVD of Boron by Hydrogen Reduction of BCl3

SEZGİ N. A., Dogu T., HÖ O.

ISCRE 15, 13 - 16 Eylül 1998

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet