Parylene Tabanlı Çip-Üstü-Laboratuvar Sistemleri için bir Mikro Kapak Tasarımı ve Sızdırma Özelliklerinin Tespiti


Yıldırım E., Arıkan M. A. S., Külah H.

4. Mühendislik ve Teknoloji Sempozyumu, Ankara, Türkiye, 28 - 29 Nisan 2011

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Ankara
  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet