A Symmetrical and Decoupled Microgyroscope with Electroforming Process on Insulating Substrate

Akın T., Alper S. E.

European conference on solid-state transducers; Eurosensors XVI , Praha, Çek Cumhuriyeti, 15 - 18 Eylül 2002, ss.471-472

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Praha
  • Basıldığı Ülke: Çek Cumhuriyeti
  • Sayfa Sayıları: ss.471-472
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet