An integrated thermopile structure with high responsivity using any standard CMOS process

Akın T., Olgun Z., Akar O., Külah H.

Sensors and Actuators, A: Physical, cilt.66, ss.218-224, 1998 (SCI-Expanded) identifier identifier

  • Yayın Türü: Makale / Tam Makale
  • Cilt numarası: 66
  • Basım Tarihi: 1998
  • Doi Numarası: 10.1016/s0924-4247(98)00038-7
  • Dergi Adı: Sensors and Actuators, A: Physical
  • Derginin Tarandığı İndeksler: Science Citation Index Expanded (SCI-EXPANDED), Scopus
  • Sayfa Sayıları: ss.218-224
  • Anahtar Kelimeler: thermopiles, infrared sensors, CMOS integration, ELECTROCHEMICAL ETCH-STOP, SILICON
  • Orta Doğu Teknik Üniversitesi Adresli: Evet