A THREE AXIS CAPACITIVE MEMS ACCELEROMETER ON A SINGLE SUBSTRATE


Aydemir A., Akın T.

Patent, BÖLÜM G Fizik, Buluşun Tescil No: EP 3 241 027 B1 , Standart Tescil, 2014, 2023, Tescil Edildi

  • Fikri Mülkiyet: Patent
  • Başvuru Yapılan Ülke/Kuruluş: Almanya
  • Buluşun Durumu: Başvuru Yapıldı
  • Başvuru Tarihi: 31.12.2014
  • Başvuru Yapılan Ülke/Kuruluş: İrlanda
  • Buluşun Durumu: Tescil Edildi
  • Başvuru Tarihi: 31.12.2014
  • Tescil Tarihi: 28.03.2023