NON-LINEAR TERAHERTZ SPECTROSCOPY FOR DEFECT DENSITY IDENTIFICATION IN HIGH K DIELECTRIC FILMS

Altan H.

Patent, BÖLÜM G Fizik, Buluşun Tescil No: US 7,459, 687 B2 , Standart Tescil, 2008, Tescil Edildi

• Fikri Mülkiyet: Patent
• Başvuru Yapılan Ülke/Kuruluş: Amerika Birleşik Devletleri
• Buluşun Durumu: Tescil Edildi
• Başvuru Tarihi: 6.04.2007
• Tescil Tarihi: 2.12.2008