Method for Microfabrication of a Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer comprising a Diamond Membrane and a Transducer Thereof
Patent, BÖLÜM H Elektrik, Standart Tescil, 2013
- Fikri Mülkiyet: Patent
- Başvuru Yapılan Ülke/Kuruluş:
- Başvuru Tarihi: 1.01.2013