Method for Microfabrication of a Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer comprising a Diamond Membrane and a Transducer Thereof

BAYRAM B.

Patent, BÖLÜM H Elektrik, Standart Tescil, 2013

• Fikri Mülkiyet: Patent
• Başvuru Yapılan Ülke/Kuruluş:
• Başvuru Tarihi: 1.01.2013