A THREE AXIS CAPACITIVE MEMS ACCELEROMETER ON A SINGLE SUBSTRATE

---

Aydemir A., Akın T.

Patent, BÖLÜM G Fizik, Buluşun Tescil No: EP 3 241 027 B1 , Standart Tescil, 2014, 2023, Tescil Edildi

• Fikri Mülkiyet: Patent
• Başvuru Yapılan Ülke/Kuruluş: Almanya
• Buluşun Durumu: Başvuru Yapıldı
• Başvuru Tarihi: 31.12.2014
• Başvuru Yapılan Ülke/Kuruluş: İrlanda
• Buluşun Durumu: Tescil Edildi
• Başvuru Tarihi: 31.12.2014
• Tescil Tarihi: 28.03.2023