A method for microfabrication of a capacitive micromachined ultrasonic transducer comprising a diamond membrane and a transducer thereof
Patent, BÖLÜM H Elektrik, Standart Tescil, 2015
- Fikri Mülkiyet: Patent
- Başvuru Yapılan Ülke/Kuruluş:
- Başvuru Tarihi: 1.01.2015