A method for microfabrication of a capacitive micromachined ultrasonic transducer comprising a diamond membrane and a transducer thereof


BAYRAM B.

Patent, BÖLÜM H Elektrik, Standart Tescil, 2015

  • Fikri Mülkiyet: Patent
  • Başvuru Yapılan Ülke/Kuruluş:
  • Başvuru Tarihi: 1.01.2015