A method for microfabrication of a capacitive micromachined ultrasonic transducer comprising a diamond membrane and a transducer thereof
BAYRAM B.
Patent, BÖLÜM H Elektrik, Standart Tescil, 2015
-
Fikri Mülkiyet:
Patent
-
Başvuru Yapılan Ülke/Kuruluş:
-
Başvuru Tarihi:
1.01.2015