NON-LINEAR TERAHERTZ SPECTROSCOPY FOR DEFECT DENSITY IDENTIFICATION IN HIGH K DIELECTRIC FILMS
Patent, BÖLÜM G Fizik, Buluşun Tescil No: US 7,459, 687 B2 , Standart Tescil, 2008, Tescil Edildi
- Fikri Mülkiyet: Patent
- Başvuru Yapılan Ülke/Kuruluş: Amerika Birleşik Devletleri
- Buluşun Durumu: Tescil Edildi
- Başvuru Tarihi: 6.04.2007
- Tescil Tarihi: 2.12.2008