A THREE AXIS CAPACITIVE MEMS ACCELEROMETER ON A MULTI-STACK SUBSTRATE


Tezin Türü: Doktora

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Mühendislik Fakültesi, Makina Mühendisliği Bölümü, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2014

Öğrenci: SERDAR TEZ

Eş Danışman: TAYFUN AKIN, MEHMET ALİ SAHİR ARIKAN