A Three Axis Capacitive MEMS Accelerometer On A Single Substrate


Tezin Türü: Doktora

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Mühendislik Fakültesi, Elektrik ve Elektronik Mühendisliği Bölümü, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2013

Öğrenci: AKIN AYDEMİR

Eş Danışman: TAYFUN AKIN, RAŞİT TURAN