Silicion micromachined capacitive pressure sensors for industrial and biomedical applications


Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Mühendislik Fakültesi, Elektrik ve Elektronik Mühendisliği Bölümü, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 1998

Tezin Dili: İngilizce

Öğrenci: ORHAN ŞEVKET AKAR

Danışman: Tayfun Akın