Synthesis of silicon-germanium by high dose germanium ion implantation into silicon


Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Orta Doğu Teknik Üniversitesi, Fen Edebiyat Fakültesi, Fizik Bölümü, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 1999

Tezin Dili: İngilizce

Öğrenci: Mehmet Şahin

Danışman: RAŞİT TURAN